压电阀

压电阀是为了适用于要求精确控制气体流量的场合，主要应用领域包括: 磁控溅射，光学镀膜，太阳能电池，ITO，等离子体刻蚀等。

特点

1.     控制模式：开环控制和闭环控制

2.     易于集成：可与国产自动压强控制仪配套使用，来实现闭环控制，达到稳定压强的目的，性价比高，同时亦可选择进口压强控制仪

3.     响应时间快

4.     性能稳定，压电陶瓷片寿命长

5.     无机械连接件，无伺服马达，无磨损，在断电的情况下可实现自动关闭的特点

技术参数

流量                0­-500 scmm

     响应时间            2 毫秒

     集成漏率            5×10^-8sml/sec

     驱动电压            0-100VCD/0-24VDC

     电路连接            标准BNC接头（Q9）

温度范围            10⁰C至60⁰C

     最大入口压强        50PSI

    重量              800克