F-400H/U涡轮分子泵

特点：
　　◆国内最大抽速分子泵；
　　◆采用高强度锻造铝合金制造叶片；
　　◆轴承寿命长；
　　◆转速可调；
　　◆独有设计，可现场更换轴承；
　　◆矮形泵，节省空间；

◆润滑油液位光电保护（可选）；

◆配套电源可实现：

。RS-485通讯接口

。停电后来电频率跟踪启动（可选）

。停泵刹车
　　◆适用于获得清洁的超高真空。

技术参数：　　

极限压力：l×l0^-8Pa 　　

抽 速：＞ 4000 l/s 　　

转 速：16000 r/min

压缩比：N2：＞10⁸　

振动值：≤0.15µm

电机功率：1.5KVA 　　

启动时间：15min 　　

停车时间：30min 　　

安装方式：垂直安装±5°

入口法兰：DN400KF  DN400CF　　

出口法兰：DN1OOKF 　　

泵 高：400mm

产品优点：

1. 用于镀膜、半导体、冶金等工业以及研究方面多种用途的免维护高性能涡轮分子泵

2. 可以配置小的前级泵，降低系统成本

3. 提供更长的分子泵维修间隔，可以现场更换分子泵轴承

适用领域：

1. 半导体生产 2.真空处理技术 3. 镀膜制灯行业 4. 研发及化工行业