供应双功率双输出射频电源
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| 产品简介 |
| CDX系列双频电源有2000W和6000W两种型号，高频（HF）部分可选择的频率范围为2-60MHz。低频（LF）部分可选择固定或者可变的频率范围为20KHz-2MHz。 |
| 详细资料 |
| 应用对象： 该电源是等离子体领域，包括偏压、刻蚀、沉积、灰化等的理想电源。 产品特点： ●紧凑的外包装节省了空间、保养维护费用低（节电和环保）。 ●产品符合CE、ETL和SEMI F47安全标准。 ●保护线路设计可以防止放大器出现过压、过流、和过载现象。 ●增益控制电路的设计，消除了线路和负载的变化影响，使输出功率变得稳定，在高驻波比条件下限制功率输出。 ●在低频测量部分，独特的功率监视设计可以将功率提供给任何阻抗值的负载。 ●在任何情况下，低频部分可选择的相位锁定输出，省去了匹配网络的需求。 技术指标： 输入交流电压：187-229VAC；三相；50/60Hz。 线电流保护：20A。 模拟设置点和回馈水平：0-10VDC，监控0-100％额定功率。 过温保护：当散热设备温度超过60℃时禁止功率输出。 控制信号输入阻抗：最小100K欧姆。 控制信号输入隔离度：最小100VAC到输入交流电压。 输出功率控制线性度：≤2％。 负载失配：在高驻波比时输出限制在200W以内。 线路校准：在整个187-229VAC内输出变化在+/-1％。 控制I/O连接器：N或C。 冷却方式：CDX2000：1.5GPM（5.7litters）。 尺寸：7”H×19”W×19”D（17.8cm×48.3cm×48.3cm）。 重量：97Ibs.（44Kg）。 输出功率：CDX2000：1000W连续波输出,负载阻抗为50欧姆。 频率：2-60MHz内任意频率。 频率稳定度：+/-0.005%。 谐波失真：从10-100％输出功率范围内，相对于输入信号所有的谐波均小于-30dB。 |
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