供应TSV1200-S型多功能磁控溅射镀膜机
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应用范围：手机外壳，MP3外壳，数码相机外壳，各种标牌的装饰改性加硬镀膜. 可镀膜层: 氮化钛（TiN）、氮碳化钛（TiCN）、氮化锆（ZrN）、氮化铬（CrN）、氮化铝钛（TiAlN），碳化钛（TiC）等。颜色: 金色， 银色， 黑色 兰色等等。 主要特点: l 侧面双开门结构, 便于装片和换靶 l 独特设计预溅射挡板,工艺控制简便,节省时间 l 独特设计的充气和抽气系统, 有效镀膜区宽 l 专业脉冲偏压非平衡对靶中频磁控溅射技术,镀膜质量稳定 l 采用PLC工控机控制, 可实现设备和工艺手动和自动控制, 多重泵阀水电互锁互保护 l 安装采用全程四极质谱监控和氦质谱检漏, 真空密封性好, 设备工艺稳定可靠 l 转动采用磁流体引入,长期运转密封可靠 l 综合效率高,装片量大. 50X70mm工件, 最大一次可装800片 l 所有零部件采用国内知名厂家, 电器元件采用进口或合资企业产品, 设备长期运行可靠稳定. 主要技术参数和配置： （一）、真空系统技术指标 1、极限真空：优于2×10-3Pa； 2、抽速：大气到5×10-3Pa≤30mm (空载, 冷态,洁净)； 3、压升率：小于0.5Pa/hr。 |
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