供应箱式真空镀膜设备(图)
企业联系信息
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产品规格：JZC-1000 |
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JZC-1000型磁控溅射镀膜机：
1、结构：立式前开门，双层水冷；
2、材质：SUS304；
3、室体内腔尺寸：D1000*H1100mm；
4、抽气系统：扩散泵＋罗茨泵＋旋片泵；
5、镀膜系统：矩形平面磁控溅射靶，可配直流电源或中频电源；
6、工件偏压：直流脉冲偏压；
7、工件传动：上传动，行星轮工件架，传动速度3－30rpm可调；
8、工件加热：室温－350，可调；
9、电器控制：PLC＋触摸屏；
10、极限真空：5*10－4Pa；
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