沈阳新蓝天真空技术有限公司坐落在沈阳市浑南高新技术产业开发区，其前身是沈阳新蓝天科技实业有限公司，成立于1994年。2008年4月在沈阳新蓝天科技实业有限公司基础上重新注册成立了沈阳新蓝天真空技术有限公司。公司占地面积7800平方米，建筑面积2600平方米，拥有各种生产加工设备40余台和检测仪器30余台，同时建有一个300余平米的洁净的装调车间。 公司现有员工50余人，具有大专以上学历的专业技术人员20余人，其技术骨干来源于中科院及国内知名的真空企业和自动化控制行业，具有较强的自主研发能力和生产加工能力，是专业从事真空薄膜设备的研发、生产、销售及自动化控制工程的高新技术企业。 沈阳新蓝天真空技术有限公司的主要产品是真空镀膜设备及其配套的真空部件，其产品方向主要是面对高等学校和科研院所。重点设计开发了以下各种类型真空镀膜设备及其真空配套部件： ·PECVD等离子体增强化学气相沉积设备 · Cluster 团簇式PECVD沉积系统 ·JGP系列多靶磁控溅射镀膜设备 · FJL超高真空磁控溅射与离子束溅射复合式镀膜设备 ·PLD脉冲激光沉积设备 ·铜铟镓硒薄膜太阳电池制备设备 ·配手套箱式的电阻蒸发镀膜设备 ·电子束蒸发镀膜与离子束辅助沉积设备 ·GLC700脉冲阴极弧金属等离子体浸没离子注入与沉积设备 ·EBY600高真空等离子体活化焊接装置 ·LZ900高真空大面积离子注入系统 ·GQK600高温钎焊扩散设备 ·GDJ800高真空电子束蒸发与高温加热处理设备 ·高真空电导测试设备 ·EUV相机检测、存储运输设备 同时推出了配套的真空部件产品： · CYC63型磁力样品传递机构：CYC63-300~1500。 ·GY五-00型超高真空“高低温五维微调式”样品架。 ·超高真空插板阀系列：GV100、GV150、GV200、GV250。 ·超高真空全金属角阀：CD-J35、CD-J16。 ·高真空角阀：GD-J35、GD-J16。 ·各种规格真空磁力转轴：ZZ-C35、ZZ-C25、ZZ-C16。 ·2〞~8〞的各类圆形永磁磁控靶，YCB　2〞~8〞 · 2〞~4〞的各类圆形电磁靶，DCB　2〞~6〞 ·各种规格大小的矩形磁控溅射靶的设计和制造。

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