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真空系统组成元件(九)

www.coating-cn.com(中国真空镀膜网) 发布时间:2008-8-23 13:53:36

2.6 捕集器的流导
    捕集器的型式 很多,其结构各不相同,有些捕集器其结构较为复杂。捕集器的设计主要要求是:结构简单,挡油效果好,流导大。应当指出的是,要求挡油效果好,即是要求油蒸 气分子通过捕集器的返油几率要小,这和要求流导大是相互制约的,只能是这两方面的要求综合考虑,达到相对最佳,不能片面地只追求某一项指标。在达到所要求 的挡油效果的基础上,应使捕集器的流导尽可能的大。
    捕集器流导的计算方法基本有3种:(1)利用实验得到的“比流导”数据计算;(2)把捕集器看成是异形截面管道串、并联而成的复杂管道,根据流导计算公式计算;(3)利用蒙特卡罗法计算得到的传输几率(又称流导几率)进行计算。
    2.6.1 利用“比流导”数据计算
    在真空系统中,尤其是蒸气流泵的入口处所用的障板和冷阱,绝大多数都要在机械阻挡的基础上,对挡片进行冷却,以提高捕集可凝性蒸气的效果。常用的水冷障板的分子流流导(对于室温空气)可用下式计算
    C=CSA M3/S (14)
    式中CS是障板的比流导,m3/m2·s。比流导定义为障板入口孔单位面积上的流导,其数值可查表4。A是障板入口面积,m2
    对于用冷剂冷却的冷阱,分子流流导计算式为
    C=(1/k)CSA M3/S (15)
    式中k是温度影响系数,若冷剂是“干冰”(固体二氧化碳),取k=1.2;若是液氮,则取k=1.7。
    2.6.2 利用传输几率数值计算
    传输几率也称为流导几率,它被定义为在分子流条件下,管路元件的流导C与其入口孔流导Ck的比值,即
    Pr=C/Ck (16)
    因此管路元件的分子流流导为
    C=Ck.Pr (17)
    利用上式,如果知道管路元件的流导几率Pr,则很容易计算出分子流流导。对于某些结构的机械捕集器,其传输几率值可从表4中查出,图52至58也给出了某些结构型式障板的传输几率。

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