真空技术系统图用图形符号(GB/T 3164-93)
www.coating-cn.com(中国真空镀膜网) 发布时间:2008-11-19 10:45:44
以下为真空泵,真空阀门,挡板,阱,除尘、过滤器,真空管路及其连接,压力测量仪表,真空容器大类的图形符号
一、真空泵
真空泵,容积真空泵,气镇泵,旋片真空泵或定片真空泵,滑阀真空泵,余摆线真空泵,往复真空泵液环真空泵,罗茨真空泵的图形符号:
表1 真空泵图形符号

二、真空阀门
真空阀门,插板阀,挡板阀或翻板阀,球阀,手动阀,电动阀,电磁阀,气动或液动阀充气阀,微调阀,遥控阀,隔膜阀的图形符号:
表2 真空阀门图形符号

三、挡板
档板,空气冷却挡板,循环冷却挡板,注入冷剂挡板,珀尔帖型挡板的图形符号:
表3 挡板图形符号

四、阱
阱或冷凝器,贮液式阱,吸附阱的图形符号
表4 阱图形符号

五、除尘、过滤器
真空除尘器,真空过滤器的图形符号
表5 除尘、过滤器图形符号

六、真空管路及其连接
管路,接头,带有接头的管路,十字接头管路,交叉管路,橡胶管,波纹管管路,一个由若干元件组厉的外壳,钩头螺栓法兰,盲法兰,烘烤装置,观察窗,可拆法兰,转动轴,螺栓法兰,往复轴,快拆法兰,电极引线密封的图形符号
表6 真空管路及其连接图形符号

七、压力测量仪表
压力计,分压真空计,热阴极电离真空计,超高真空热阴极电离真空计,冷阴电离真空计液位压力计,压缩式真空计,薄膜真空计,电阻真空计,真空压力控制仪,热传导真空计的图形符号
表7 压力测量仪表图形符号

八、真空容器
真空容器,真空室,钟罩的图形符号
表8 真空容器图形符号

九、符号应用示例
真空技术图形符号在真空系统上的应用示例:

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